PI développe une platine linéaire à lévitation magnétique avec contrôle 6DOF

PI, fabricant d'équipements de nanopositionnement et d'étages à coussin d'air, a développé un démonstrateur technologique de haute précision basé sur le maglev. La lévitation magnétique est une technologie de mouvement sans friction qui utilise des champs magnétiques pour faire léviter et propulser des objets. La technologie MagLev est utilisée dans diverses applications, notamment dans les trains à grande vitesse et les roulements magnétiques, et présente de grands avantages dans les applications de contrôle de mouvement de précision et de nanopositionnement.

Le principe de base de la lévitation magnétique est que les pôles magnétiques se repoussent. Pour réaliser la lévitation magnétique dans sa forme la plus simple, deux aimants sont utilisés ; un aimant est placé dans l’objet qui doit être lévité et l’autre aimant est placé en dessous.

Pour rendre ce principe utile pour le nanopositionnement et le contrôle de mouvement de précision, par exemple dans les étapes de translation linéaire, les aimants de la base doivent être des bobines contrôlables électriquement et il faut plus qu'une simple paire pour contrôler également le mouvement latéral, le mouvement vertical et le tangage, le lacet, et rouler. Un système de détection de position haute résolution est également requis pour le retour au contrôleur de mouvement. Puisqu'aucun roulement mécanique ne restreint le mouvement de la plate-forme linéaire, les six degrés de liberté sont disponibles pour corriger toute insuffisance de roulement, avec un puissant contrôleur multi-axes.

Les applications potentielles des systèmes de nanopositionnement maglev peuvent être trouvées dans les tests et la métrologie des semi-conducteurs, la photonique, l'optique et la microscopie à haute résolution. Les avantages sont l'absence de génération de particules (compatible salle blanche), l'usure nulle et l'entretien nul, le mouvement contrôlable multidimensionnel dans un boîtier compact et la durée de vie pratiquement illimitée. Contrairement aux étages à coussin d'air, aucune alimentation en air comprimé n'est nécessaire.

PI a investi dans la recherche sur la lévitation magnétique pour les applications de nanopositionnement et travaillera avec ses clients pour faire progresser ensemble la technologie.

Pour plus d’informations : www.pi-usa.us



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